EnglishDTU.dkIndeksKontaktTelefonbogAlumnenetværkPortalen

Bølgeleder

Waveguide for conducting light on wafer surface

 

Bølgeledere bruges til at lede lys parallelt med en overflade. De består af en glaskerne og en ydre glaskappe. Forurening af glaskappen (doping) sikrer, at den rene glaskerne har et højere brydningsindeks end den omkransende kappe. Det nederste substratlag består oftest af silicium. Den beskrevne proces startes derfor på en siliciumskive med et oxidlag på adskillige mikrometer.

 

Waveguide glass core

 

Først påføres det lag af glas, som skal udgøre glaskernen.

 

Glass core etched

 

Kernelaget påføres mønster fra maske og ætses.

 

Waveguide glass cladding layer

 

Glaskappen påføres.

 

Masking and etching of cladding layer

Kappen maskes og ætses.

 

 

 

Sidst opdateret 30.04.2010
Ansvarlig: Jörg Hübner
Top
Ørsteds PladsBygning 3472800 Kgs. LyngbyTlf. +45 4525 5743
Cookies